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簡要描述:SEC-N122MG質量流量控制器Horiba N100特點:1、最小流量1sccm,最大流量1000SLM;2、最高精度0.3% ;3、不受壓力影響;3、可選多種數(shù)字通訊:RS485、profibus、cc-link、EtherCAT、DeviceNet。
SEC-N122MG質量流量控制器Horiba N100
特點:
1、可測量小流量1sccm,大流量1000SLPM;
2、最高精度0.3% ;
3、不受壓力影響;
4、可選多種數(shù)字通訊:RS485、profibus、cc-link、EtherCAT、DeviceNet。
SEC-N122MG質量流量控制器Horiba N100
SEC-N122MG質量流量控制器Horiba N100 技術參數(shù):
型號 | 選擇通訊方式 | 選擇供電方式 |
SEC-N112MG、 SEC-N122MG、 SEC-N132MG、 SEC-N142MG、 SEC-N172MG | 數(shù)字式信號傳輸 ?RS485 F-NET協(xié)議 模擬式通訊 ?0~5VDC | HORIBA可提供PE系列供應電源 |
SEC-N114MG、 SEC-N124MG、 SEC-N134MG、 SEC-N144MG、 SEC-N174R | DeviceNet™ 通訊 | 符合ODVA標準 |
SEC-N115MG、 SEC-N125MG、 SEC-N135MG、 SEC-N145MG、 SEC-N175R | CC-Link®通訊 模擬式通訊 ?0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | 符合CC-Link®標準 24VDC(13 ~ 32VDC) |
SEC-N116MG、 SEC-N126MG、 SEC-N136MG、 SEC-N146MG、 SEC-N176R | PROFIBUS™ 通訊方式 |
符合PROFIBUS™ 標準 24VDC(13 to 32VDC) |
模擬式通訊 | ||
?0 to 5VDC, 0 to 10VDC 4 to 20mA | ||
SEC-N117MG、 SEC-N127MG、 SEC-N177R | EtherCAT®通訊方式 | 符合EtherCAT®標準24VDC ± 4V |
SEC-N122MG質量流量控制器Horiba N100 選型資料
SEC-N122MG質量流量控制器Horiba N100 局部圖片
Horiba品牌介紹
HORIBA是著名的半導體設備供應商,主要提供氣體質量流量控制器、液體質量流量控制器、壓力控制器、汽化器。在半導體設備PECVD、MOCVD、Etch等關鍵工藝有非常廣泛的應用。
暢銷型號
數(shù)字型質量流量控制器:
低成本數(shù)字型質量流量控制器:SEC-N112MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N172R、SEC-N114MGM、SEC-N124MGM、SEC-N134MGM、SEC-N116MGM、SEC-N126MGM、SEC-N117MGM、SEC-N127MGM
液體質量流量控制器:LV-F20PO、LV-F30PO、LV-F30PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60PO、
管件閥門:Valex不銹鋼管1/4"EP別、Valex不銹鋼管1/2"EP別、Valex不銹鋼管3/8"EP別、1/2隔膜閥S8DVN-VM-P、1/4隔膜閥S4DVN-VM-P、1/4單向閥S4CHV1-VM-P、PFA管、PFA噴槍。
防爆溫濕度變送器KGC.EX/8、KKC3.EX/8、防爆風速變送器TA10、SS.220、風速變送器F500。
售后服務
Horiba有完善的售后服務。在上海嘉定有專門的售后服務部,全國各主要城市有售后工程師常駐,產品出現(xiàn)問題在12小時內相應。
SEC-N122MG質量流量控制器Horiba N100
可以為所有客戶提供混合氣體?;旌蠚怏w用途多樣,例如用于評估氣體傳感器或測試金屬腐蝕情況。在氣體傳感器或金屬材料的研發(fā)中,對傳感器或金屬進行專項質量評估至關重要。在測試工藝過程中控制氣體的濕度平衡相當困難,但是可以通過以下產品達到準確的氣體平衡和氣體濕度:氣體 MFC(SEC-Z512MGX)、液體 MFM(LF-F20M-A)、汽化器(MV-2000)。